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M 系列 在線數字式質量流量計產品介紹：

M 系列 在線數字式質量流量計

采用專有的內部補償型層流壓差技術，使得大 流量范圍下氣體仍舊保持層流運動，充分補償因壓力和溫度引起的體積流 量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。所有 Alicat 質量流 量計均具有 NIST 可溯源校準證書。 

M 系列質量流量計內部無可移動組件和熱元件，通過抗振動測試，對安裝 方向不敏感。

M 系列質量流量計帶有集成式多功能數字顯示屏， 用戶可通多顯示屏按鈕操作在內置 98 種標準氣 體中進行任意切換，同時開放模擬通訊和 RS-232 數字通訊模式。我們為用戶提供廣泛的定制化服務以滿 足各類特殊的項目需要，如：用于危險環境的 ATEX(歐洲) 1 類 2 區和 CSA(美國)1 類 2 區認證產品等。 另有耐腐蝕系列(MS 系列)、低壓損系列(MW 系列)和便攜式系列(MB 系列)質量流量計可選。

如：科學研究、泄漏測試、環境監測、真空 鍍膜、半導體、汽車制造、光伏、燃料電池、光纖制造、計量以及過程工藝氣體測量等。多變量測量、 多種氣體標定以及 200:1 量程可調比使得僅用一臺 Alicat 質量流量計便可取代多臺設備發揮的功效。很高 可達 0.4%的精度、0.2%重復性及不到 10 毫秒的測量響應速度很大程度優化了氣體測量過程。 

M 系列質量流量計可測量從 0-0.5 SCCM 到 0-4000SLPM 的滿量程的任何流量。

技術參數：

標準規格

滿量程范圍：所有氣體為 0.5 SCCM 至 5,000 SLPM（H2 為 10,000 SLPM）

測量范圍：滿量程的0.01% – 100%

精度：讀數的 ±0.6% 或滿量程的 ±0.1%，以較大者為準

可選高精度：讀數的 ±0.5% 或滿量程的 ±0.1%，以較大者為準

重復性：讀數的 0.1% 和滿量程的 0.02%

響應時間：<10毫秒

工作溫度： –10°C 至 +60°C

滿量程工作壓力： 160 PSIA (11 barA)